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| ��̖ �Ŀ | YD200G/A | YD200G/B | YD200G/C |
| �y���Ŀ | �A�ȡ����y�ȡ�ͬ�Ķȡ�ͬ�S�ȡ�ƽ�жȡ�ƽ��ȡ���ֱ�ȡ�ƫ�ġ��������� | ||
| ���S���� | ±0.035µm | ±0.025µm | ±0.0125µm |
| ϵ�y���� | ≤0.08µm | ≤0.05µm | ≤0.03µm |
| ���S�D�� | 5r/min | ||
| �D�_����d�� | 40 kg | ||
| �D�_ֱ�� | 200 mm���ɔUչ��260mm�� | ||
| ������С�ȏ� | 3mm | ||
| �y���߶� | 300mm���ɔUչ��400mm�� | ||
| ���D�����_ | �����{ƽ�{�� | ||
| �������Ƅ� | �ٿv�U늄ӿ��� | ||
| ���̷��� | ±50µm�� ±100µm��±400µm | ||
| �y���ֱ��� | 0.01µm | ||
| ���ɘӷֱ��� | 8192�c/�� | ||
| ���֞V���n | 2-15��2-50��2-150��2-500��15-150��15-250 | ||
| �Ŵ� | 400��1000��2000��4000��10000��20000��40000��80000��100000 | ||
| �A���u������ | ��С���ˈALSC����С�^��AMZC�������ЈAMIC����С��ӈAMCC | ||
| �������� | �C��������б�ʷ������������n | ||
| �Uչ���� | ���ֈA���A���u����늙C�Q�����A�ȡ�Ƭ�g��y�� | ||
| �x��� | ������צ���P�����ֈA���u��ܛ����늙C�Q�����y��ܛ�� | ||
| �����≺ | 0.40��0.43MPa | ||
| ��Դ���� | 0.45��0.80Mpa | ||
| ���C���γߴ� | �L×��×�ߣ�800mm×500mm×1450mm | ||
| ���C���� | �s220kg | ||
| ��̖ �Ŀ | YD200G/A | YD200G/B | YD200G/C |
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| ���S���� | ±0.035µm | ±0.025µm | ±0.0125µm |
| ϵ�y���� | ≤0.08µm | ≤0.05µm | ≤0.03µm |
| ���S�D�� | 5r/min | ||
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| ������С�ȏ� | 3mm | ||
| �y���߶� | 300mm���ɔUչ��400mm�� | ||
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FORM2000
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