���@�R���ж�NĿ�R�����R��ҕ������������ ���ù�는�(sh��)�@���g(sh��)���Ծ��ܹ�ų�����y��Ԫ���� �������M(j��n)Ӌ��C(j��)���g(sh��)������Ŕ�(sh��)�@ϵ�y(t��ng)�ɼ����L����̖���rݔ��Ӌ��C(j��)���Ɍ���ܛ����CD202���M(j��n)�Д�(sh��)��(j��)̎��������ӡ���Y(ji��)����D�Σ���(zh��n)�_����Ч�� ���@�R������ƫ�[�����ڌ���������M(j��n)�Мy���� �Էǽ��|�y��������������������������əz���Π��(f��)�s�������� �����Rȫ��ʹ����V�� ���R�Ŵ��� | ���Ŵ��� | �������x���L�� | ҕ��ֱ�����L�� | 1× | 10× | ≈79 | ≈26.70 | 3× | 30× | ≈69 | ≈6.7 | 5× | 50× | ≈49 | ≈4 | �� ��W(xu��)��λ������Ҫ���g(sh��)����(sh��)�� �y�U��ֱ����[�ӷ�����±3° ��λ׃���ԣ���1μm ������5�L�r���ɜy�������ȣ�≈15�L �y����N����0.1±0.03 �y���������L��:5-200 �x�����C(j��)���γߴ磨�L���L×��×��=1300×1250×80 �x�����C(j��)������450�K | �C(j��)���f�ܹ����@�RJX13B���ڔ�(sh��)��ʽ�f�ܹ����@�RJX11B�Ļ��A(ch��)�ϲ���Ӌ��C(j��)���g(sh��)���y����(sh��)��(j��)�M(j��n)�Д�(sh��)��(j��)̎���������˃�(y��u)��Ӱ���S�з����p��������l�y�y����ʹ�C(j��)���f���@ϵ�y(t��ng)���ܵõ��˴����ߣ�ܛ���ĿɽM���ԺͿ��_�l(f��)������(qi��ng)��ϵ�y(t��ng)�Ĺ��ܣ��ڸ�����(n��i)�M��V���Ñ�����Ҫ�� �C(j��)���f�ܹ����@�R�ǙC(j��)е���������I(y��)��Ӌ���yԇ���V��ʹ�õ�һ�N����;Ӌ���x���������Á�y�����̃�(n��i)���κ�����ijߴ硢�Π�ǶȺ�λ�á� �� ���͜y�������У� �y�����N���������Ӱ塢�Ӱ�܇�����Ӱ�㊵����_ģ��݆���Π �y�����ݼy���ݼy��Ҏ(gu��)���z�U���U�ȣ����Џ���С�����ݾࡢ���Ͱ�ǡ� �y���X݆�L���Č�(d��o)�̡��X�κ����ͽǡ� �y���·�塢�@ģ��װ��ϵĿ�λ�öȣ��I�۵Č��Q�ȵ���λ�`� �y�������� X���г̣�200�L �A�����_ֱ����φ213�L Y���г̣�100�L ƽ�����_�ߴ磨�L����260×270 �y��Ŀ�R�Ƕȷք�������360° ���g�����A�o�L�ȣ�700�L �ݼy݆��Ŀ�R�Ƕȷք�������±7° ���g���ݼ{�����ֱ����φ100�L �A�����_�Ƕȷք�������0°~360° ���ᘼ����A�o�L�ȣ�200�L �A�ֶ��^�Ƕȷք�������0°~360° ���ᘼ����ݼ{�����ֱ����φ250�L ���@�R�����ăAб������±12° ����M�p���D(zhu��n)������±90° �ֶ�ֵ�� X��Y��ֶ�ֵ��0.0002�L �A�����_�Ƕȷֶ�ֵ��30″ �y��Ŀ�R�Ƕȷֶ�ֵ:1′ �A�ֶ��^�Ƕȷֶ�ֵ��1′ ݆��Ŀ�R�Ƕȷֶ�ֵ��±12 ���@�R�����Aб�Ƕȷֶ�ֵ��30′ �y����(zh��n)�_�ȣ����y���c�x���ضȲ�e������0.5��,�x���҃�(n��i)�ض�20��±1�棩�� ��1+L/100��μm������L��y���L�ȣ���λ���L ���R�Ŵ��ʣ��������x��ҕ��ֱ���� |