Park NX10�Ƿǽ��|ʽԭ�����@�R�������L̽�ʹ�É�����ͬ�r��߀�����õر��o���Ę�Ʒ���ܓp�ġ��ɏ������� XY ����x��Z����x�Ɏ������õķֱ��ʡ�
Park ԭ�����@�R���оC���ԵĒ���ģʽ�������������Ч���ռ����N������͡���ʹ���ϵ���ǽ��|ģʽ�Á�����̽ᘵļ��J�Ⱥ͘�Ʒ�������ԣ������M�Ĵ����@�R�� Park ��ԭ�����@�R������ṩ����ģʽ.
�aƷ���c
1��Smartscan���ܒ���ģʽ��“1��2��3”�c�����Ɍ��F����
2��Pinpoint Nanomechanical���س��Dģʽ������Խ�����W��ò�����N늌W�yԇ
3������ă��ü���ܛ��ϵ�y���Ԏ�LFM/Һ��AFM/MFM/EFM/KPFM/Force Curveܛ��ģʽ �������g���c
a)���跶���� 50μm x 50μm�� 2D ���������� XY �S��Ʒ�_
b)����Z�S�����������跶�� 15μm
c)���� XYZ λ�Â�����������XY�]�h����Ɍ��������ͷ�������g϶�������跶���� 0.15% ���£�
d)�ԄӲ��M���裬����Ƕ�� SLD �R�^�������̶���ʽ��
e)��ֱ�{���� Z ƽ�_�;۽�ƽ�_
�x�/ģʽ
�˜ʳ��� | ���W���� | ���/������� |
ž ���H�ǽ��|ʽ ž ���|ʽ ž ����Ħ�����@���g��LFM�� ž ��λģʽ���p��ģʽ ž Pinpoint���� | ž ���ܻ�̽ᘵĻ��W���@�R ž 늻��W�@�R(EC-STM��EC-AFM) | ž (EFM)�o����@�R ž �ӑB���|ʽ����@�R��EFM-DC�� ž ��PFM��������@�R ž ��늉�PFM |
���y�� | ������ | ������ |
ž ��-���x��F-D�����V ž ���V���� | ž �����@�R ž ���{AFM | ž ������@�R��SThM�� |
����� |
| �C��� |
ž Pinpoint ���AFM��CP-AFM�� ž I-V�V�� ž �����_����̽��@�R��KPFM�� ž QuickStep��������@�R��SCM�� ž ��������@�R��SSRM�� | ž ���������@�R��STM�� ž �����������V��STS�� ž ������y�L��PCM�� ž SICMcurrent-distance��I/d��Spectroscopy | ž Pinpointģʽ ž ���{���@�R��FMM�� ž ���ۣ��{���g ž �߉��{���g ž �{�ײٿv |
�����Ƴ���RC150ϵ��݆���x��݆���y���x���ֲڶ�݆���x������݆���y���x������ֲڶ�݆���x���Ǵ����M��݆���x��݆���y���x���ֲڶ�݆���x������݆���y���x������ֲڶ�݆���x������aƷ��RC150ϵ��݆���x��݆���y���x���ֲڶ�݆���x������݆���y���x������ֲڶ�݆���x�����RC�y��ܛ�����ИO�����������ܡ����M���㷨�������Ĝy�����ʞ�߄����]ʽ�⸡��܉���ټ�֮����˸߾��Ȳɼ�����ϵ�y��ʹRC150ϵ��݆���x��݆���y���x���ֲڶ�݆���x������݆���y���x������ֲڶ�݆���x�oՓ�ǜy�������ϣ�߀�ǜy�������ϣ����Խӽ��M�ڵ�݆���x��݆���y���x���ֲڶ�݆���x������݆���y���x������ֲڶ�݆���x���ڇ����ИI��̎���I�ȡ�
һ��RC150C��݆���x��݆���y���x���ֲڶ�݆���x������݆���y���x������ֲڶ�݆���x���g���c
u�߾���ֱ����܉
u�����I�ȵĸ߾��Ȳɼ�����ϵ�yu�p��܉���p�������Y�����C�߾��ȴ�����݆���y�����߾��ȴֲڶȜy��
u�cCAD�o�p�Y�ϣ���ע��������ʽ�cCADһ��
uģ�K���OӋʹ�Ñ��S�o�ɱ��������
u����ᘌ��ԡ����I�Ե�ϵ�y���C�y���Č��r�Լ�ϵ�y�ķ�����
u�����ĴֲڶȜy��ģ�K�����F�ֲڶȸ�헅����Ĝy����
����RC150C��݆���x��݆���y���x���ֲڶ�݆���x������݆���y���x������ֲڶ�݆���x�y������
2��1 �u�r�Ŀ
���N��ͱ���ľ�Ҫ�أ��cҪ�ء��c�c�c�ľ��x�����c���ľ��x����Ҫ�ص�λ�öȰ������x���Ƕȡ�����ی����돽
��������
���y�ȷ�����ȱ��/ë���Ԅ�����ֱ���ȷ������ȷ���������ƫ�����
ᘌ��S���ИI�Ĺ���
���ΜϜy������߅�ࡢ���ľࡢ���_ƫ��ȡ�����������ֱ���ȵ�
�ֲڶȹ���
Ra��Rz��Rt��Rp��Rpm��Rz��Rv��R3z��RS��RSm��RSk��Rk
2.2�y����������Ч�г̣�150mm:
����RC150C��݆���x��݆���y���x���ֲڶ�݆���x������݆���y���x������ֲڶ�݆���x���gָ��
��܉���ȣ�0.13μm/50mm
X����Ч�y���L�ȣ�150mm
X��ֱ��ʣ�0.1μm
Z�����̣�12mm
Z��ֱ��ʣ�0.1μm
�y���ٶȣ�0.1mm/s��0.2mm/s��0.5mm/s��0.8mm/s��2mm/s���Զ��x
һ��RC150H��݆���x��݆���y���x���ֲڶ�݆���x������݆���y���x������ֲڶ�݆���x���g���c
u�߾���ֱ����܉
u�����I�ȵĸ߾��Ȳɼ�����ϵ�yu�p��܉���p�������Y�����C�߾��ȴ�����݆���y�����߾��ȴֲڶȜy��
u�cCAD�o�p�Y�ϣ���ע��������ʽ�cCADһ��
uģ�K���OӋʹ�Ñ��S�o�ɱ��������
u����ᘌ��ԡ����I�Ե�ϵ�y���C�y���Č��r�Լ�ϵ�y�ķ�����
u�����ĴֲڶȜy��ģ�K�����F�ֲڶȸ�헅����Ĝy����
����RC150H��݆���x��݆���y���x���ֲڶ�݆���x������݆���y���x������ֲڶ�݆���x�y������
2��1 �u�r�Ŀ
���N��ͱ���ľ�Ҫ�أ��cҪ�ء��c�c�c�ľ��x�����c���ľ��x����Ҫ�ص�λ�öȰ������x���Ƕȡ�����ی����돽
��������
���y�ȷ�����ȱ��/ë���Ԅ�����ֱ���ȷ������ȷ���������ƫ�����
ᘌ��S���ИI�Ĺ���
���ΜϜy������߅�ࡢ���ľࡢ���_ƫ��ȡ�����������ֱ���ȵ�
�ֲڶȹ���
Ra��Rz��Rt��Rp��Rpm��Rz��Rv��R3z��RS��RSm��RSk��Rk
2.2�y����������Ч�г̣�150mm
����RC150H��݆���x��݆���y���x���ֲڶ�݆���x������݆���y���x������ֲڶ�݆���x���gָ��
��܉���ȣ�0.12μm/50mm
X����Ч�y���L�ȣ�150mm
X��ֱ��ʣ�0.1μm
Z�����̣�12mm
Z��ֱ��ʣ�0.1μm
�y���ٶȣ�0.1mm/s��0.2mm/s��0.5mm/s��0.8mm/s��2mm/s���Զ��x
MarSurf XC 20 �� Mahr��피�݆���y���x. ��ϵ�y�����ṩ��������ܱ��F������y���x��. MarSurf XC 20 ����������Ԫ PCV �͜y������ ST 500 �� ST 750. MarSurf �y������վ��ܳ��y���C���c�����y�����g�������Y��. ����݆���y���xPCV 200 �ӆ�Ԫ · ��Խ��ͨ���� · �Թ̡������Լ��p���OӋ����܇�gʹ�� · �y���L���_200 mm �� in�����y�������_50 mm �� in�� Special features of the PCV 200 drive unit PCV 200 �ӆ�Ԫ�����c · �y���ۿɾ��̿����Ԅ����� · �y�������{�������� 2 mN ��120 mN ��.556 mozf to mozf�� · ���ٶ�λ · �����y���۹̶��OӋ�Ɍ��F�y���۵Ŀ��ٸ��Q������Ҫ�~��Ĺ��ߣ� · ��ײ���o�OӋ · �Թ̵��OӋ�ͪ��صIJ����ṩ���õĄ����W�Y�� · �ɾ����O���y���۵��½��������Ͷ�λ���Լ��Զ��x�y���ٶ� · �ӆ�Ԫ��ȫ��MarSurf XC 20���� |
��������݆���y���x |
�m���ڸ��и��I���磺 · ��܇�ИI · �L����S �Ԓ�� 82054996 �֙C��13826118158 ��ַ���V������Ӆ^���|�M��·8̖�V�I�@C��310 �]�䣺tu_junjie@ OICQ��12246599· ͬ���h |
��Ҫ���gָ�ˣ� 1���y��ԭ�����|ᘷ���늸Ђ����� 2������ˮƽ���з�����100mm�� 3�����们���ٶȣ�0.1,0.2,0.5,0.8,1mm/s�� 4��������������ʽ���քӣ��Ԅӣ� 5�����ʌ�܉��ֱ���ԣ�1μm/����40mm�� 6�������������L�ӽz������ϵ�y���C���������Ԅӌ�����λ�� 7��������ֱ�y���߶ȣ� �� �ֲڶ�ϵ�y��300mm�� �� �Π�ϵ�y��240mm; 8�������_�Y����500mm×620mm����ʯƽ�_���pT�βۣ� 9���Π�y��ϵ�y�� 1) �y����������ֱ4/20mm��ˮƽ100mm�� 2) �y�����ȣ���ֱ0.3%��ˮƽ0.03%�� 3) ��ֱ�ֱ�����0.25μm/4mm��1.25μm/20mm�� 4) ˮƽ�ֱ�����1μm �� 5) �y����������ֱ���x��ˮƽ���x����ֱ���A�ǣ��A���돽�����nj��ȣ��A��-���桢�A��-�A�ġ�ֱ�����c-ֱ�����c���c-ֱ�����x�� 6) ˮƽ�Ŵ��ʣ�2��5��10��20��50��100��200��500�� 7) ��ֱ�Ŵ��ʣ�10��20��50��100��200��500��1000��2000�� 8) �������y�U�L��150mm�� 9) �y��L�ȣ�22mm�� 10) ᘼ�Ƕȣ�11°�� 11) ᘼ�돽��25μm�� 12) �y����0.02-0.06N�� 13) ���������нǶȣ�������≤77°���½���≤88°�� 10���ֲڶȜy��ϵ�y 1) ���̣�16/160μm�� 2) ʾֵ���ȣ�≤±5%�� 3) С�ֱ�����0.001μm�� 4) ȡ���L�ȣ�0.08��0.25��0.8��2.5��8mm�� 5) �u���L�ȣ�N��ȡ���L�ȣ�N=1��2��3��4��5�� 6) ���֞V���������ˡ���λУ�������V������˹�� 7) �y��������Ra��Ry��Rp��Rv��Rz��Rq��Rtm��Rt��Rpm��Rvm�� Sm��S��D��Sk��Rku��Δq��Δa��λq��R3y��R3z��NR1��NR2��tp�� 8) �D��������ܣ�݆������-NR��݆������-֧���ʣ����ȷֲ�-֧���ʣ� ֧����-�D���ȣ� 9) ݆���D�εĴ�ֱ�Ŵ��ʣ�100��200��500��1000��2000�� 5000��10000��20000��50000��100000��200000�� 10) ݆���D�ε�ˮƽ�Ŵ��ʣ�2��5��10��20��50��100��200��500�� 1000��2000��5000�� 11) �������yᘣ�����ʯ�A�F���F��90°��ᘼ�돽5μm; 11. ֱ��݆���y��ϵ�y 1) ���̣�16/160μm�� 2) �y��������P a��Pp��Pv��Pz��Pq�� Pt��Psk��Pku��PΔq��Psm�� 3) �D��������ܣ�����-NR������-֧���ʵȡ� ���������ã� ������ ������ ��ֲڶȂ��������˜ʡ����ԣ� ���Π������ ����� ���C����ӡ�C ��V�����_ ���{б�����_ ��A���� 2�����x�������r�����h�� ��ֲڶȈA�������� ��ֲڶ���ۂ����� ��ֲڶ��X������� ���f�����_ ���{�����_ ����V�͉K ��ƽ���Q ��݆���x���_ �x�������γߴ��c������ ��x�����أ�260kg�� ��x��ë�أ�360kg�� ��x�����ͳߴ磺1720mm×450mm×740mm ����b���γߴ磺1590mm×1150mm×1065mm