λ�`��y���x�����c����1�� �x����피�֧�ж�λ�����Ô����ɼ�����̎���O�䣬�ɜy���S��P�������ĈA�ȡ��A���ȡ�ͬ�S�ȡ��S��ֱ���ȡ��ؾ�ֱ���ȡ��ؾ�ƽ�жȡ��A���ӣ������桢б�͏���ȫ���ӵȰ����λ�`�
��2�� �x�����õ�һ��피��Ī��4̖Ӳ�|�Ͻ�피⣬���������ӹ������피�ĈA�Ⱦ��ȣ��Ķ����C�˃x�������^�ߵď�����D���ȡ�
��3�� �x���y��܉ֱ���Ⱦ��ȸߣ��Ȍ�܉����피��S��ƽ�жȵ����쾫��Ҳ�ߣ��Ķ����C�����P��λ�Ŀ�Ĝy�����ȡ�
��4����yʽ�����ɼ�Ҫ���ɰ��ԄӲɼ�����λ�Ŀ�Ĝy�������������r������Ӌ��C��Ӌ��̎����Ӌ���u��ܛ��Ӌ���ٶ�Խ�죬Ӌ��Y���ʴ_��Ӌ��ܛ��߀���Է��x��܉����피��S����ƽ�ж��`�
��5�� �y���L�ȣ�500mm��I�ͣ� 800mm��II�ͣ� 1000 mm(III��)
��Ҫ���g������
(1)������D���� 0.4um
(2) �Ȍ�܉ֱ���ȡ� 5um��I�ͣ� 6 um ��II�ͣ� 8 um��III�ͣ� 2 um/100mm
(3) �Ȍ�܉����피��S����ƽ�жȡ�7um(I��)��8um(II��)��9um(III��) 3.5um/100mm
(4) ���y������ֱ�� 250mm
(5) ���y�������L�� 500mm��I�ͣ� 800mm��II�ͣ� 1000 mm(III��)
�x�����估�O�䣺
(1) DGB-5B늸Мy�x��DGC-8ZG/C�S��y�^����Ť�ɱ�
(2) XW��250��λ�`����ɼ���̎��ϵ�y�б��x�������İ˂��y�����Ŀ��ܛ�����Ñ��ɰ���Ҫ�������x���1��8������486�������_ʽ�C���C�o회��ã�
(3) ��ܱ�yʽ�����ɼ��������ɼ����ԄӲɼ������r�x�䣬���ɼ��I��y�������t���x