�a(ch��n)���c(di��n):�� �{�����3D�z�y�� ���١��o���|���� �����Π�ֲڶȷ����� �����������|(zh��)���m�á� ���������������İ�ȫ���y�� �;S�o(h��)�ɱ�
��3D�D��̎���c����ܛ�w��Post Topo������ �ṩ3D�D��̎���c������ �ṩ�Ԅ�(d��ng)����ƽ����̎�����ܡ� �ṩ���A��(bi��o)��(zh��n)Ƭ��ܛ����У���ܡ� ��ȡ��߶ȷ��������ṩ���Է����c�^(q��)������ȃɷN��ʽ�� ���Է�����ʽ�ṩֱ����ISO���x�ı���ֲڶȣ�Roughness���c����ȡ� ��waviness���Ĝy�����������ṩ���_(d��)17�N��ISO���y����(sh��)�c4�N�~�����y��(sh��)��(j��)��Wafer���� �^(q��)�������ʽ�ṩ�D�η����c�y(t��ng)Ӌ(j��)������ ����ƽ�������J���c��(sh��)���^�V���ȶ�N���S�������~�D(zhu��n)�Q��FFT��̎�����ܡ� ���y�����Y(ji��)����BMP�ȶ�N�D�Ιn����ʽݔ������Excel�ı��ļ���ʽݔ��
���پ��ܵĸ������ܛ��(ImgScan)���� ϵ�y(t��ng)Ӳ������ImgScan̎��ܛ���Ԅ�(d��ng)���������l�y�� ��ֱ�߶ȿ��_(d��)0.1nm�� ���ٵķ����㷨�t���㲻�ڿ��y���Y(ji��)���� ��ֱ���跶�����O(sh��)���p�������ס� ��10X��20X��50X���ʵ����R�ɹ��x��� ƽ�_X��Y��Zλ�Ô�(sh��)��ʽ�@ʾ��ʹ�z�yĿ��(bi��o)���ҿ����ֱ����� �����ք�(d��ng)/�Ԅ�(d��ng)�⏊(qi��ng)���{(di��o)��������ȡ�üѵĸ���l�y���ȡ� ���и߾��ȵ�PVSI�c����VSI����y��ģʽ���x��� ���еĽ����㷨�t��̎���������w��3D��ò�� �����Ԅ�(d��ng)�a(b��)�c(di��n)���ܡ� �������O(sh��)�����跽�����g(sh��)Ҏ(gu��)��(sh��)��
��̖ | AE-100M | ||
�Ƅ�(d��ng)�_(mm) | ƽ�_�ߴ�100*100 ���г�13*13 | ||
���R�Ŵ��� | 10X | 20X | 50X |
�^���c���y����(mm) | 0.43*0.32 | 0.21*0.16 | 0.088*0.066 |
��W(xu��)�ֱ���(μm) | 0.92 | 0.69 | 0.5 |
�չ�Ƕ�(Degrees) | 17 | 23 | 33 |
�������x | 7.4 | 4.7 | 3.4 |
�������ֱ��� | 640*480���� | ||
�C(j��)�_����(kg)/�d��kg | 20kg/��1kg | ||
Z�S�Ƅ�(d��ng)���� | 45mm , �ք�(d��ng)��(x��)�{(di��o) | ||
Z�Sλ�Ô�(sh��)���@ʾ�� | �ֱ���1μm | ||
�Aб�{(di��o)��ƽ�_ | �p�S/�ք�(d��ng)�{(di��o)�� | ||
�߶Ȝy�� | |||
�y������ | 100(μm)(400μm ,�x��) | ||
���y�ֱ��� | 0.1nm | ||
�؏�(f��)���� | ≤ 0.1�� (���y�߶�:>10μm) | ||
≤10nm(���y�߶�1μm 10μm) | |||
≤ 5nm(���y�߶�:<1μm ) | |||
���y���� | �Ԅ�(d��ng) | ||
�����ٶ�(μm/s) | 12(��) | ||
��Դ | |||
��Դ��� | �x�����u�أ��䣩��Դ | ||
ƽ��ʹ�É� | 1000С�r(sh��)100W 500С�r(sh��)��150W�� | ||
�⏊(qi��ng)���{(di��o)�� | �Ԅ�(d��ng)/�ք�(d��ng) | ||
��(sh��)��(j��)̎���c�@ʾ��Ӌ(j��)��C(j��) | |||
����̎���\(y��n)����Ļ | �p��������CPU | ||
Ӱ���c��(sh��)��(j��)�@ʾ��Ļ | 17 " �p����Ļ | ||
����ϵ�y(t��ng) | Windows XP(2) | ||
�Դ�c�h(hu��n)��Ҫ�� | AC100 ����240 V 50-60Hz | ||
�h(hu��n)�����(d��ng) | VC-C������ | ||
�y������ܛ�� | |||
���yܛ��ImgScan | ImgScan�y��ܛ������VSI/ PVSI/PSI �y��ģʽ��PSI���yģʽ�����x��PSIģ�K���䣩 | ||
����ܛ��PosTopo | ISO �����/�A�߷��������ق����~�D(zhu��n)�Q�͞V�������ӵ�2D��3D �^�yҕ�LjD������/��e/�w�e�������D��s�š���(bi��o)��(zh��n)Ӱ���ļ���ʽ�D(zhu��n)�Q ��(b��o)��ݔ��������̌�(d��o)�y���ȡ� |
Talysurf CCI 6000�����x �S���Ƽ�����,�ǽ��|ʽ�����y�����ѱ��V���đ�(y��ng)�������a(ch��n)���аl(f��)�ϣ���Taylor Hobson��(j��ng)������аl(f��)��2003����Ƴ���Talysurf CCI 6000�����x�ɿ��QĿǰ�����Ͼ�����߹����(qi��ng)�İ����x��,�䳬�߽����ȵ����ԣ�0.1Å���������\(y��n)�������y���A ���C(j��)늼�����Ԫ���Ȯa(ch��n)Ʒ�Ĵֲڶ� ƽ��� ��Ĥ������ȣ������Ɖ��Ե����Ը�������Ч�����yܛ�����|(zh��)�����~�����o(j��)Ԫͬ�r(sh��)����Talysurf CCI 6000�^���Ǹ�����I(y��)�����ٵ����yϵ�y(t��ng)�� Talysurf CCI 6000�����x�� &�����ȣ�Z�S�� 0.01nm ��0.1Å�� &�y��������Z�S�� 100um &�y��������X x Y�� 0.36mm x 0.36mm ~ 7.2mm x 7.2mm�������R���ʲ�ͬ�������x�� &1024 x 1024 �߽������y�c(di��n)��(sh��) &�ܜy��ķ����� 0.3% - 100% ������������y�� Ӳ����ܛ�� &�⸡ʽ����ϵ�y(t��ng)�Ѹ��^�ǰ�����(d��ng)‧���x���Ը��x���ڭh(hu��n)������Ӱ����y���� &������Windows 2000�� Windows XP ϵ�y(t��ng) CCI����x Mirau ���� �����x3D����ܛ�� &Talymap 3D & 2D ����ܛ�w�� &�ɷ����(xi��ng)Ŀ: �ֶ� ƽ��� ���y Ĥ�� �w�eӋ(j��)�� �Љ���ֵ �ȵȡ� &�C(j��)늳ߴ�Ӌ(j��)�㣨���x �߶� ��Ӌ(j��)�㣩‧�����l�V������FFT�� MEMS Sensor Optics Diamond Turned& Wafer Step Talysurf CCI 6000�����x��(y��ng)�ã� &MEMS С�ߴ�Ӌ(j��)�� &Silicon Wafer ����ֶ� ƽ��� &�������R����ֲڶ� &Ӳ�� �������M���Π� &OLED PDP LCD Ĥ�����Ӌ(j��)��
��������PG15����ƽ�����x����1�����������p�����Ⱥ����ԭ��������2������(j��)������W(xu��)���о��Y(ji��)����http://www.tjhuayue.cn �b���a(ch��n)�� BOSCH늴��y ��ĩ���b�C(j��) �{(di��o)ζƷ���b�C(j��) ����в���(d��ng)�c���������ԡ���ĸ���F(xi��n)���ǹ�IJ���(d��ng)�Ե����ԡ�����JDS��ʽ���|ʽ����x������һ�N�������K���(bi��o)��(zh��n)������Ը߾��ȵı��^��ʽ����ʽ�����L��Ӌ(j��)���x������Ҫ����150mm���KҎ(gu��)����������߾��ܶȵ��L�Ⱥ��⏽�ľ��ܜy�����Ǹ���Ӌ(j��)���ҵĻ����L��Ӌ(j��)���x��֮һ���������g(sh��)����(sh��)������1�����y������L�ȣ�150mm����2�������_�г̣�5mm����3���y�U�Ƅ�(d��ng)������0.5mm����4���ք���̶ȷ�����±50��5��ֱ�Ӝy��������5-20μm http://www.heima88.com.cn ��(sh��)��늘� ��(sh��)��ʾ���� ֱ�����ؓ(f��)�d ����(sh��)��̖�l(f��)���� ����������a(ch��n)����6���ֶ�ֵ�{(di��o)��������0.05-0.2μm����7�����]ʹ�÷ֶ�ֵ��0.1μm����8���y����������1.5±0.1��N����9���x��ʾֵ��(w��n)���ԣ�0.02μm http://www.meifukeji.com �����b�C(j��) ���~���b�C(j��) �ۄ����b�C(j��) Һ�w���b�C(j��) ��ĩ���b�C(j��) ��10���x���`�±��0.03+1.5ni��λ/λ��um����n�Ǹ�(sh��),i�Ǹ�ֵ,λ�ǞV��Ƭ���IJ��L����λ�ǞV��Ƭ���L�`���11���x���w�e��280×500×700mm����12���x��������40kg�߉������ ȫ�Ԅ�(d��ng)�o��ʽ���b�C(j��) �C(j��)�����o(h��)�փr(ji��)�� �Q��ƽ�_ ������(bi��o)�y��ƽ�_ ����ʯƽ�_ PEĤ�տs�C(j��) ��������늄�(d��ng)������ ��R����늘O ˨��ģ�� �R�¿˞Vо �L�X�C(j��) BlueM YPC늴��y ú̿�z�y�O(sh��)�� �b�d�C(j��)��ӳ�
����
һ���a(ch��n)Ʒ�f��
�������K���(bi��o)��(zh��n)������Ը߾��ȱ��^��ʽ����ʽ�����L��Ӌ(j��)���x������Ҫ����150 mm���KҎ(gu��)����������߾��ܶȵ��L�Ⱥ��⏽�ľ��ܜy�����Ǹ���Ӌ(j��)���ҵĻ����L��Ӌ(j��)���x��֮һ��
��.���g(sh��)����(sh��)
1.���y������L�ȣ� 150 mm2.�����_�г̣� 5 mm
3.�y�U�Ƅ�(d��ng)������0.5mm
4.�ք���̶ȷ�������50��5.ֱ�Ӝy��������5-20��m6.�ֶ�ֵ�{(di��o)�������� 0.05 - 0.2��m7.���]ʹ�÷ֶ�ֵ�� 0.1��m8.�y�������� (1.5 �� 0.1) N9.�x��ʾֵ��(w��n)���ԣ� 0.02��m10.�x���`� ��(0.03 + 3n i ��) ��m ( n����(sh��), i�� ��ֵ, �ˣ��V��Ƭ���L�`��)11.�x���w�e��28��50��70cm12.�x��������40KG
13.��(bi��o)��(zh��n)����� ���@�_���Ž��_�����{(di��o)�@ƽ�_���o���_�� ƽ��yñ ��2��С����yñ������V��Ƭ
�a(ch��n)Ʒ��B
| ![]() ![]() ![]() ![]() MCV-500H ��������ո���x �y�����ܡ���Ҫ���g(sh��)ָ��(bi��o)�̓x�������� 1.��Ҫ�y�����ܣ�ֱ��λ�Ɯy�� 1) �y����(sh��)���Sϵֱ���\(y��n)��(d��ng)�Ķ�λ���Ⱥ��؏�(f��)��λ���ȡ����Q��(sh��)�� �C(j��)����λ���ȡ��؏�(f��)��λ���ȡ������g϶�Ĝy�����ַQ������ �y����ֱ���y���ȡ� 2)�y����(sh��)�ؙC(j��)�����w���Ǿ����ȡ�
ע���� MCV-500H ��(bi��o)��(zh��n)���û��A(ch��)���Ñ�߀���xُ LD-37S �f�� �۹��R�� LD-58 ���Ǿ��y���И�(bi��o)���Ժ�ž��Д�(sh��)�ؙC(j��)�� ���w���Ǿ����Ȝy�����ܡ� 3)�y���C(j��)еƽ�_������(bi��o)�y���C(j��)�Ć��S���ȺͿ��g���ȡ� ע���� MCV-500H ��(bi��o)��(zh��n)���û��A(ch��)���Ñ�߀���xُ LD-37S �f�� �۹��R�� LD-58 ���Ǿ��y���И�(bi��o)���Ժ�ž�������(bi��o)�y�� �C(j��)�Ŀ��g���Ȝy�����ܡ� 4)���龫��ƽ�_���L�Ȼ���(zh��n)���� 2.MCV-500H ��Ҫ���g(sh��)ָ��(bi��o)
�����g(sh��)ָ��(bi��o)���Q��(bi��o)��(zh��n)��������ӆ؛ 1�����l�ʷ�(w��n)����0.02ppm 2λ�Ɯy���ֱ���0.001μ m 3λ�Ɯy������0.2ppm(0.2 μm/m) �� MCV-500H ��������ո���x�y�����ܡ���Ҫ���g(sh��)ָ��(bi��o)�ͳ����� �������g(sh��)��ԃ(�Ϻ�)����˾T E L : �� 1 � �� 6 �2015-5-4 4λ�Ɯy�����x80m 5����Ƅ�(d��ng)�ٶ�5.0m/�� 6�����h(hu��n)���ض�5 ��38�� 7�����h(hu��n)�����θ߶�0��3000m 8�����h(hu��n)���������0��95% 9�՚�ضȂ���������±0.1�� 10���ϜضȂ���������±0.1�� 11�՚≺������������±1.1mmHg 13�Դ늉�90��265VAC 14�Դ�l��50��60 �� �� �˾������ژ�(bi��o)��(zh��n)���h(hu��n)���в�ʹ�ò��ϜضȂ������Ԅ�(d��ng)�ض�����(ATC) ��(sh��)�F(xi��n)�ģ�ʹ�� ATC�r(sh��) ���������ڲ��ϜضȂ������Ĝ�(zh��n)�_�ԡ�
3.MCV-500 �x������(bi��o)��(zh��n)�������������(x��)��
����̖���Q��(sh��)����ע 1L-109H�ι��������^1 2P-108D��̖̎����1
3IATCP �Ԅ�(d��ng)�ضȚ≺�a(b��)�������� 1�՚�ضȂ��������՚� ���������������Ϝض� ��������һֻ���՚≺ �����а��b�� P-108D ̎�����������ϡ� 4LD-21L��|�M�����^��1 �L�Ȟ� 12 Ӣ��(3.5m) 5R-102A0.5 Ӣ��ƽ�з����R1 6LD-3790 ���۹��R1 7LD-03����1 8LD-03P����������1 9LD-14A�b�ð�1 10��(n��i)���ǰ���1 ��6 ֧ 11220V �Դ��1 12USB �B�Ӿ�1 13W-500�y�Lܛ��1 14LD-500ʹ���փ�1 15LD-20D���b��1
4.MCV-500H �y��ܛ����ֱ��λ�Ɯy����(sh��)��(j��)�ɰ�����(bi��o)��(zh��n)�M(j��n)�з���
����(bi��o)��(zh��n)��(bi��o)��(zh��n)̖ 1�Ї����Ҙ�(bi��o)��(zh��n)GB/T 17421.2-2000 2���H��(bi��o)��(zh��n)ISO 230-2:1997 3���H��(bi��o)��(zh��n)ISO 230-2:1988 4�����̅f(xi��)��(hu��)VDI-3441 5�ձ���(bi��o)��(zh��n)Japanese Standard 6�������ҙC(j��)������f(xi��)��(hu��)NMTBA 7�������ҙC(j��)������f(xi��)��(hu��)�����h�Ƶ� NMTBA 8�����C(j��)е���̎��f(xi��)��(hu��)ASME B5.54 9�����C(j��)е���̎��f(xi��)��(hu��)ASME B5.57
5.MCV-500H����ܛ�����Ԅ�(d��ng)�����ݾ��`���a(b��)��ܛ���Ŀ�����Ʒ�ƺ� ��̖(ԓ����ܛ�����xُ����)�� 6.�ɹ� MCV-500H �xُ�ĸ��N�y�����ܸ���
���xُ����̖�y��������ע
1.W-500LB1.��(d��ng)�B(t��i)�y���� 2.ֱ���\(y��n)��(d��ng)�r(sh��)λ�ơ��ٶȡ����ٶȜy ����W-500LB �� �A��܉�E�y ��ܛ���� 2LB-5001.��(d��ng)�B(t��i)�y���� 2.ֱ���\(y��n)��(d��ng)�r(sh��)λ�ơ��ٶȡ����ٶȜy ���� 3.�C(j��)���������S���a(b��)�\(y��n)��(d��ng)�r(sh��)λ�ơ��� �ȡ����ٶȵĜy���� 4.�A���\(y��n)��(d��ng)܉�E�y���� 5.�A���\(y��n)��(d��ng)܉�E������ LB-500 ��A ��܉�E�y�� �M���� 2SP-5001.��(d��ng)�B(t��i)�y���� 2.ֱ���\(y��n)��(d��ng)�r(sh��)λ�ơ��ٶȡ����ٶȜy ���� 3.�C(j��)���������S���a(b��)�\(y��n)��(d��ng)�r(sh��)λ�ơ��� �ȡ����ٶȵĜy���� 4.�A���\(y��n)��(d��ng)܉�E�y���� 5.���S����(��������(d��ng)����������(d��ng))�y ����
SP-500 ���� �S����(���� ����(d��ng)������ ����(d��ng))�y���M ����
3SD-5001.���Ǿ����Ȝy���� 2.���S���M(j��n)���Ǿ��y���ͷ����� 3.��������(y��ng)�������Ŀ��g�����a(b��)���� ��(ԓ����ܛ�����xُ��)��SD-500 ��� �g����(���S ���M(j��n)���Ǿ�) �y���M����
4SQ-5001.ֱ���S��ֱ����(ˮƽֱ���ȡ����� ֱ����)�y���� 2.���S��ֱ�Ȝy���� 3.���Sƽ�жȜy����SQ-500 �鴹 ֱ�ȡ� ֱ�� �Ȝy���M ���� 5AM-500��(d��o)܉(ֱ���S)�\(y��n)��(d��ng)�еĽ�ƫ(�����ǡ�ƫ �[��)�y����AM-500 �� ��ƫ�y���M ����
Ԕ��(x��)���g(sh��)��(b��o)�r(ji��)����Ո��늘I(y��)��(w��)�ˆT�� �˺ꄂ 13601906309
�Ϻ����ڙz�y�x������˾��ȫ���I(l��ng)�ȵĜy����Q�����ṩ�̣���˾������ў�ȫ��20����(g��)���Һ͵^(q��)�Ŀ͑��ṩ�y�����g(sh��)�c�a(ch��n)Ʒ��Q���������ڹ�˾����Ӌ(j��)���z�y�I(y��)���������Ĝy����Q������ͨ�^ȫϵ��Ӌ(j��)���z�y�a(ch��n)Ʒ�͌��I(y��)���g(sh��)����(w��)���`��M�㲻ͬ�͑��IJ�������Լ����ٙz�y����(chu��ng)�µ��� �������ڹ�˾��(ji��n)���Գ��m(x��)���g(sh��)��(chu��ng)��͑�������(chu��ng)��r(ji��)ֵ�����N�ۮa(ch��n)Ʒ�ڵ�����������������ʿ��Ӣ����Ų�����Ї��ȵ��O(sh��)��ȫ���аl(f��)�C(j��)��(g��u)���a(ch��n)Ʒ�s�@�T�����H�������{�費������(qi��ng)�Ą�(chu��ng)��������ͻ�����`�����������څ���Ƶļ��g(sh��)�����A��ȫ��͑��������c������ ���ڹ�˾ʼ�K؞�ؿɳ��m(x��)�l(f��)չ����\(y��n)�øߡ�������Ĝy�����g(sh��)������ͬ�^(q��)�Ŀ͑��ṩ���Ƶ�Ӌ(j��)����(y��ng)�÷����� ��˾�ĺ��ăr(ji��)ֵ�^����͑�����(w��)�ǵ��ڹ�˾���ڵ�Ψһ���ɣ��͑������ǵ��ڹ�˾�l(f��)չ��ԭ��(d��ng)�����҂���(ji��n)���Կ͑������ģ�����푑�(y��ng)�͑������m(x��)��͑�(chu��ng)���L�ڃr(ji��)ֵ����͑��ṩ��Ч����(w��)���҂������ķ���̓r(ji��)ֵ�u�r(ji��)�Ę�(bi��o)�ߣ������͑������a(ch��n)Ʒ���Ј��ϵď�(qi��ng)�����������҂��ăr(ji��)ֵ����,���m��(y��ng)�F(xi��n)�����I(y��)�ĸ�����׃�������ڹ�˾���@�͑�����ͼ��g(sh��)�I(l��ng)�ȳ��m(x��)��(chu��ng)�£��c�I(y��)�����_�ź��������Ñ��ṩ�����M(j��n)��Ӌ(j��)���z�y�a(ch��n)Ʒ���҂������ɞ�͑�Ӌ(j��)���z�y�I(l��ng)�����Ѻ�����飬�ɞ��Ñ�����ه�Ĺ���(y��ng)�̡����ڹ�˾���N�۵Įa(ch��n)Ʒ��ȫ��20����(g��)�����O(sh��)�����a(ch��n)���аl(f��)�C(j��)��(g��u)����(qi��ng)����аl(f��)�F(tu��n)�(du��)ʹ�҂��r(sh��)�̱��ֳɞ�Ӌ(j��)���z�y�I(l��ng)����L(f��ng)���(bi��o)��Ŭ������������I(y��)�Ñ��ṩ��ѽ�Q������ ��Ҫ�N�۵Įa(ch��n)Ʒ�У�������(bi��o)�����V�x��ͶӰ�x��ƫ�[�x��Ӳ��Ӌ(j��)�����(d��ng)���x��ɫ�V�x���y�L�x��Ӱ��y���x���X݆�y���x���y�߃x���ֲڶȃx��݆���x���f�ܲ���ԇ�(y��n)�C(j��)���y���@�R���f�ܹ����@�R���ߵ͜�ԇ�(y��n)�䣬�}�Fԇ�(y��n)�䣬̽���x�����S����x���������x����P�y���x���A�ȃx���A���ȃx��Ϳ�Ӝy��x�������y���x�����I(y��)��(n��i)�Q�R�����I(y��)CT�ȡ��Լ���z�y�x�����������죬�S�ޱ��B(y��ng)����(w��)�� |