美國Aalborg, Aalborg氣體質量流量計, Aalborg控制器
美國Aalborg Instruments & Controls, Inc成立于1972年,是世界上著名的氣體質量流量計/控制器的生產廠家,其產品廣泛用于微電子工藝、真空鍍膜、 材料科學 、石油化工、醫藥、環保等領域。
產品特點:性價比高、響應速度快、可靠性高,易于集成、環路保護、備總量計數器
典型應用:CVD、PVD、刻蝕、等離子注入、濺射、ITO、玻璃鍍膜、表面處理等鍍膜工藝。
設計特點:-剛性金屬結構 -流程范圍從0開始到10sccm直到0到1000slpm -最大壓力500psig(34.5Bar) -泄漏率1*10-7氦氣 -NIST系統標定可追蹤的證明 -可傾斜的LCD讀表 -0-5Vdc或4-20mA信號輸出 -電路保護 -可用作便攜式的設備 -0到100%比例顯示 -可配備流量計算機 精度:±1.5%滿量程,包括59℉到77℉的氣體溫度(15℃到25℃)和5到60psia(0.4到4.1bar)的壓力。可選±1%滿量程(標定精度),在給定的溫度與壓力值條件下。 重復性:±0.5%滿量程 回應時間:實際流速±2%超過滿量程25-100%一般2秒 溫度系數:0.15%滿量程/℃ 壓力系數:0.01%滿量程/psi(0.07bar) 氣體/周圍溫度:32℉-122℉(5℃-50℃) 輸出信號:0-5Vdc,最小1000Ω。4-20mA、0-250Ω回路電阻 傳感器輸出:+12Vdc;最大200Ω。+24Vdc可選 時間恒量:800ms 氣體壓力:最大1000psig(70bar)。可選20psig(1.4bar) 流體接觸面材質:A:GFC鋁系列為陽極電鍍鋁、316不銹鋼、銅和氟橡膠圓環 B:GFC17S,37S,47S,57S,67S,77S不銹鋼系列:316不銹鋼、氟橡膠圓環可選氯丁橡膠圓環。 方位靈敏度:水平到垂直旋轉低于15度;標準校準是在水平位置 連接:GFC17和37:1/4"卡套螺紋VCR®或1/8"卡套可選(GFC17) GFC47:3/8"卡套螺紋 GFC57:3/8"卡套螺紋 GFC67:1/2"卡套螺紋 GFC77:3/4"卡套螺紋 VCR®或3/4"卡套可選(GFC77)
美國FATHOMS是一家生產和銷售多種測量范圍的氣體流量儀表及控制儀表的公司。在其德克薩斯工廠生產全面的熱質量流量計及控制器、水平開關以及流量計附件。
美國FATHOM公司,同樣為美國國家標準與技術研究院提供行業內的氣體流量儀器儀表規范。FATHOMS氣體質量流量計
其產品主要有:
1 氣體質量流量計
GR系列,GRMF系列,GRHF系列,IL系列,GRF系列
2 壓力傳感器
特點
1) 熱式傳感器
2) 1%精度 100:1 量程比
3) 一體化的閥、顯示器及設定點
4) 線性化輸出(0-5 VDC, 4-20 mA)
5) 單獨的電源終端適配器
6) 316不銹鋼流體
7) 符合NIST校準
8) 低廉的價位
應用:OEM、實驗室、醫學、過程控制、制藥 、泄漏檢測、R & D 、氣體混合
FATHOMS氣體質量流量計
型號列舉:
GR111-3B-PO
GR111-4-B-PO
GR111-5-B-PO
GR112-4-B-PO
GR112-4-B-PO-MF
GR115-1-A-PO-SS
GR112-4-B-PO-MF-SS
GR112-01SS
GR112-04SS
GR115-01SS
GR115-04SS
GR116-01SS
GR116-04SS
MF111-1
MF111-2
MF112-1
MF112-2
HF111-1
HF111-2
HF112-1
HF112-2
GRF201
GRF301
熱式氣體質量流量計 氣體質量流量儀
型號:LT/DY-EP
北京LT/DY-EP熱式氣體質量流量計使用方法是氣體流量計量中新型儀表,區別于其它氣體流量計不需要進行壓力和溫度修正,直接測量氣體的質量流量,一支傳感器可以做到量程從極低到高量程。它適合單一氣體和固定比例多組份氣體的測量。它依據的原理是流體吸收熱的速度直接與質量流量相關。移動的氣體分子撞擊熱電阻時吸收帶走熱量,流率越大,接觸熱電阻的分子越多,吸收的熱量越多,熱吸收與某種氣體的分子數,熱學特性和流動特性有關。
·北京LT/DY-EP熱式氣體質量流量計使用方法不需要溫度,壓力補償;·一個流量計能同時兼顧小流量和大流量測量, 特別適合大口徑測量。·施工量極小,由于采用插入式結構,只需要在 管道上開一個M20×1.5孔。·帶球閥,校正維修方便。·智能數顯流量積算儀配套。·基地式儀表可以就地顯示和帶報警控制。技術性能
熱式氣體質量流量計是氣體流量計量中新型儀表,區別于其它氣體流量計不需要進行壓力和溫度修正,直接測量氣體的質量流量,一支傳感器可以做到量程從極低到高量程。它適合單一氣體和固定比例多組份氣體的測量。它依據的原理是流體吸收熱的速度直接與質量流量相關。移動的氣體分子撞擊熱電阻時吸收帶走熱量,流率越大,接觸熱電阻的分子越多,吸收的熱量越多,熱吸收與某種氣體的分子數,熱學特性和流動特性有關。
·不需要溫度,壓力補償;·一個流量計能同時兼顧小流量和大流量測量, 特別適合大口徑測量。·施工量極小,由于采用插入式結構,只需要在 管道上開一個M20×1.5孔。·帶球閥,校正維修方便。·智能數顯流量積算儀配套。·基地式儀表可以就地顯示和帶報警控制。技術性能
產品特點:
技術參數:
機械尺寸:
管道直徑 (mm) | 插入深度 (mm) | 探桿總長度(H為壁厚) (按15通徑的球閥計算) | 定長 | 流量范圍(Nm3/hr) |
80 | 11 | 168+H | 桿長250;直徑14 球閥15 | 1000 |
100 | 13 | 170+H | 1600 | |
125 | 16 | 173+H | 2500 | |
150 | 20 | 177+H | 3500 | |
200 | 26 | 183+H | 6500 | |
250 | 33 | 190+H | 10000 | |
300 | 40 | 197+H | 15000 | |
350 | 46 | 203+H | 20000 | |
400 | 53 | 210+H | 25000 | |
450 | 60 | 217+H | 桿長325;直徑14 球閥15 | 32000 |
500 | 66 | 223+H | 40000 | |
600 | 80 | 237+H | 55000 | |
700 | 93 | 250+H | 75000 | |
800 | 106 | 263+H | 100000 | |
900 | 119 | 276+H | 130000 | |
1000 | 132 | 289+H | 160000 | |
1100 | 146 | 302+H | 桿長400;直徑19 球閥20 | 200000 |
1200 | 159 | 329+H | 230000 | |
1300 | 172 | 343+H | 270000 | |
1400 | 186 | 356+H | 320000 | |
1500 | 199 | 369+H | 360000 | |
1600 | 212 | 382+H | 400000 |
產品型號 | D07-11CM |
產品類型 | 高耐壓型 |
流量量程 | 5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm |
產品精度 | ±1%F.S.(20slm 30slm ±2%F.S.) |
重復精度 | ±0.2% FS |
線性 | ±0.5%F.S.(20slm 30slm ±2%F.S.) |
響應時間 | ≤10sec |
工作溫度范圍 | (5~45)°C |
耐壓 | 10MPa |
密封材料 | 氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon |
輸入輸出信號 | (0~5)VDC |
電源 | ±15V |
閥類型 | 無閥 |
溫度系數 | - 無 - |
零點飄移指標 | - 無 - |
電氣連接 | D sub 15 pins Male |
工作壓差范圍 | <0.02 MPa |
漏率 | 1×10-9atm•cc / sec He(1×10-10 Pa•m3 / sec He) |
標準接頭形式 | 雙卡套1/8”(滿量程>10slm不適用),雙卡套Φ3(滿量程>10slm不適用),雙卡套Φ8,雙卡套Φ6,雙卡套Φ10,雙卡套3/8”,VCR1/4”,雙卡套1/4” |
表面化學成分 | - 無 - |
表面粗糙度 | - 無 - |
抗電磁干擾 | CE |
重量 | 1Kg |
![]() | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
供應日本進口TOFCO東京流量G_THM氣體質量流量計:
可以根據客戶的要求,來設定流體的流量;
不受外界壓力與溫度的影響,穩定提供固定的流量;
電源電壓DC24V。
咨詢方式:壹叁陸捌壹陸捌零叁零貳
TOFCO東京流量
產品名稱: | 插入式氣體質量流量計 |
產品類別: | SIERRA產品 - 640S氣體質量流量計 |
技術特點: | 熱式原理,直接測氣體質量流量,適用大管道低流速,帶在線插撥球閥,量程范圍1000:1 |
典型應用: | 空氣、沼氣、天然氣、潔凈煤氣等氣體測量 |
HWRSL系列流量計/流量開關是基于熱擴散原理的流量儀表。即是利用流體流過發熱物體時,發熱物體的熱量散失多少與流體的流量成一定的比例關系。具體來說,該流量計的傳感器有兩只標準級的RTD,一只用來做熱源,一只用來測量流體溫度,流體流過時,兩者之間的溫度差與流量的大小成非線性關系,該儀表就可以把這種關系轉換為測量流量信號的線性輸出。
產品特點:• 采用穩定性極高的專利技術鉑RTD傳感器• 采用享有專有技術”平衡結構封裝”,介質溫度自補償• 專有算法,可實現高線性、高重復性、高精度• 量程比寬1000:1,可據用戶要求可拓展• 可實現大管徑小流量測量,最小流量可測低至零,分辨率0.001m/s• 無可動部件、振動影響可忽略• 直管段要求不高1-2D• 與介質的溫度、壓力無關• 專有高溫算法,介質溫度可達+510℃,• 采用高濕算法,實現高精度測量• 對流量信號鍵入12點動態修正,內置10點修正• 在線動態校正電流/電壓輸出• 對粉塵等小顆粒不敏感• 在線不斷流裝卸,維護方便
HWRSL | 熱式氣體質量流量計 | |||||||
公程通徑 | -XXX | 100表示DN100 | ||||||
安裝形式 | G | 管道式 | ||||||
C | 插入式 | 1 | 螺紋連接 | |||||
2 | 法蘭連接 | |||||||
公稱壓力 | A | 0~0.6MPA | ||||||
B | 0~1.0MPA | |||||||
C | 0~1.6MPA | |||||||
D | 0~2.5MPA | |||||||
E | 0~4.0MPA | |||||||
F | 0~6.4MPA | |||||||
G | 0~10MPA | |||||||
H | 0~16MPA | |||||||
工藝條件 | 0 | 普通 | ||||||
1 | 防腐 | |||||||
2 | 防爆 | |||||||
3 | 高溫 | |||||||
輸入信號 | A | 無輸出 | ||||||
B | 4~20MA | |||||||
C | RS485 MODBUS | |||||||
| 1 | 220V AC | ||||||
2 | 24V DC |