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HNDS-90Ahmds真空烘箱/hmds烤箱、hmds預處理系統/hmds真空鍍膜機

HMDS預處理系統

在半導體生產工藝中，光刻是至關重要的一個工藝環節，而涂膠工藝的好壞，直接影響到光刻的質量，所以涂膠也顯得尤為必要，尤其在所刻線條比較細的時候，任何一個環節有一點紕漏，都可能導致光刻的失敗。在涂膠工藝中，所用到的光刻膠絕大多數是疏水的，而晶片表面的羥基和殘留的水分子是親水的，如果在晶片表面直接涂膠的話，勢必會造成光刻膠和晶片的粘合性較差，甚至造成局部的間隙或氣泡，涂膠厚度和均勻性都受到了影響，從而影響了光刻效果和顯影。

為了解決這一問題，涂膠工藝中引入了一種化學制劑，即HMDS，它的英文全名叫Hexamethyldisilazane（HMDS），化學名稱叫六甲基二硅氮甲烷，把它涂到硅片表面后，通過加溫可反應生成以硅氧烷為主題的化合物，這實際上是一種表面活性劑，它成功地將硅片表面由親水變為疏水，其疏水基可很好地與光刻膠結合，起到耦合的作用，再者，在顯影的過程中，由于它增強了光刻膠與基底的粘附力，從而有效地抑制刻蝕液進入掩模與基底的側向刻蝕。 最初，人們用液態的HMDS直接涂到晶片上，然后借著晶片的高速旋轉在晶片表面形成一層HMDS膜。這樣就階段性的解決了基片和光刻膠之間的結合問題，但隨著光刻線條的越來越細，膠的越來越薄，對粘附力提出了更高的要求，于是我們研制出了現在的HMDS預處理系統。

2 HMDS預處理系統的優越性

HMDS預處理系統的優點在于：

（1）預處理性能更好，由于是在經過數次的氮氣置換再進行的HMDS處理，所以不會有塵埃的干擾，再者，由于該系統是將"去水烘烤"和HMDS處理放在同一道工藝，同一個容器中進行，晶片在容器里先經過100℃-200℃的去水烘烤，再接著進行HMDS處理，不需要從容器里傳出，而接觸到大氣，晶片吸收水分子的機會大大降低，所以有著更好的處理效果。

（2）處理更加均勻。由于它是以蒸汽的形式涂布到晶片表面上，所以有液態涂布不可比擬更好的均勻性。

（3）效率高。液態涂布是單片操作，而本系統一次可以處理多達多盒的晶片。

（4）更加節省藥液。實踐證明，用液態HMDS涂布單片所用的藥液比用本系統處理多盒晶片所用藥液還多；

（5）更加環保和安全，HMDS是有毒化學藥品，人吸入后會出現反胃、嘔吐、腹痛、刺激胸部、呼吸道等，由于整個過程是在密閉的環境下完成的，所以不會有人接觸到藥液及其蒸汽，也就更加安全，它的尾氣是直接由機械泵抽到尾氣處理機，所以也不會對環境造成污染。

3系統結構

整個系統由加熱、真空系統、充氮、加藥和控制模塊等5部分組成。

3.1加熱模塊

由于工藝的整個過程都需要在150℃左右的環境下進行，所以自始至終加熱系統都在工作。

本系統采用在腔體外側加熱，采用人工智能PID調節儀實現閉環控制，調節儀控制固態繼電器的輸出，從而實現溫度的精確穩定控制，測溫采用通用的高精度熱敏電阻Pt100。

3.2真空模塊

由機械泵、真空組件、真空測量等組成，主要作用是置換氣體和抽走剩余的HMDS蒸汽，不再贅述。

3.3充氮模塊

作用是在置換過程中，用氮氣來逐漸稀釋空氣或藥液蒸汽，從而最終替換空氣或藥液蒸汽的氣氛。

主要由氮氣源、控制閥和噴頭組成。

3.4加藥模塊

加藥模塊的作用是在需要的時候把藥液變成蒸汽，均勻的涂布到晶片表面。

它主要由藥液瓶，接口、控制閥和噴頭組成。

3.5控制模塊

控制模塊是本系統的核心模塊，它的作用是控制各個模塊的動作和時序，完成整個工藝過程。

它主要由人機界面，CPU控制中心，控制接口和輸出部件，報警等5部分組成。

人機界面采用臺灣威綸通觸摸屏來實現參數、狀態等界面的顯示和參數的設定輸入。PLC采用三凌FX系列小型化PLC。

4軟件組成

整個控制軟件共分4個部分，即自動運行、手動控制、參數設定、幫助。

當按下自動運行鍵后，畫面轉換到運行畫面，顯示當前的工藝狀態，運行時間等，同時系統開始運行。

首先打開真空泵、開始抽真空、待腔內真空度達到某高真空度（該值可預設）后，開始充入氮氣，充到達到某低真空度（該值也可預設）后的再次重復抽真空、充入氮氣的過程，達到設定的充入氮氣的次數后再次抽真空，然后充入藥液，達到設定時間后，停止充入藥液，進入保持階段。當到達設定的保持時間后，再次開始抽真空、充入氮氣，次數為設定值，當系統自動工作完成后，畫面切換到結束畫面，同時給出聲光報警等待取片，在自動工作過程中若出現異常可點擊運行畫面中的停止鍵，隨時終止程序的運行。5、 HMDS-90真空系統規格參數

內部尺寸：450X450X450  

電源：   AC220V，功率：3000W

真空度： 常壓到—133pa或1TORR以下

 

材質：   內部SUS316電解處理 外殼SS41靜電噴涂。

 

管路：   SUS潔凈管

 

層架；   SUS316材質

 

門內板： 鋼化玻璃

流程控制：液晶觸摸屏（臺灣威綸通）、PLC控制(三菱)，流程可編輯，可以預存5組程序。（可根客戶要求可以更改流程）            

加熱方式：腔體外側加溫。 溫度：RT+10℃～ 200℃；微電腦溫度控制器，控溫              

精確可靠。控溫精度：1℃，真空室溫度均勻

 

氮氣裝置：氮氣進入箱內有調壓裝置，控制有自動閥完成。

 

HMDS裝置：HMDS藥液進入箱內采用壓力差吸取瓶內HMDS方式，自動閥控制

 

真空泵：抽氣速度4升\秒

 

工作流程：

首先打開真空泵、開始抽真空、待腔內真空度達到某高真空度（該值可預設）后，開始充入氮氣，充到達到某低真空度（該值也可預設）后的再次重復抽真空、充入氮氣的過程，達到設定的充入氮氣的次數后再次抽真空，然后充入藥液，達到設定時間后，停止充入藥液，進入保持階段。當到達設定的保持時間后，再次開始抽真空、充入氮氣，次數為設定值，當系統自動工作完成后，畫面切換到結束畫面，同時給出聲光報警等待取片，在自動工作過程中若出現異常可點擊運行畫面中的停止鍵，隨時終止程序的運行。

該公司產品分類： 烘箱

GST熱風循環烘箱 上海廣樹

 

上海廣樹機電有限公司專業生產GST系列硅碳棒箱式電阻爐，罩式平板燒結爐，罩式電阻爐，1700度升降式電阻爐，熱風循環烘箱，500度高溫熱風循環爐，恒溫熱風循環烘箱等是本公司自行設計的機電一體化產品。       特點大部分熱風在箱內循環／熱效率高，節約能源。利用強制通風作用，箱內設有可調式分風板，物料干燥均勻。熱源可采用蒸汽／熱水／電／遠紅外，選擇廣泛。整機噪音小，運轉平衡，溫度自控，安裝維修方便。適用范圍廣，可干燥各種物料，是通用干燥設備。應用范圍　　熱風循環烘箱適用于制藥、化工、食品、農副產品、水產品、輕工、重工等行業物料及產品的加熱固化、干燥脫水。如原料藥、生藥、中藥飲片、浸膏、粉劑、顆粒；中劑、水丸、包裝瓶、顏料、染料、脫水蔬菜、瓜果干、香腸、塑料樹脂、電器原件、烘漆等。
本公司，具有完善的檢測手段、雄厚的技術實力和的工藝設備，產品全部采用材料，并可根據用戶需求進行設計加工。經過努力。在全國開拓了一定的銷售規模，產品不斷更新換代，深受用戶青睞。      不斷拓寬產品系列，提高產品技術含量，使產品向高強度、高精度、異性化和綜合化方向發展。企業現擁有全國協作廠商100余家，先后在全國大、中城市設立了銷售機構，有著堅實的市場基礎。
 
該公司產品分類： 印字機 馬弗爐

101呼倫貝爾電熱烘箱

 

電熱烘箱的選擇：根據自己的喜好
電熱烘箱的外形：臥式電熱烘箱和立式電熱烘箱兩種。
電熱烘箱送風方式：水平送風和垂直送風。
電熱烘箱的選擇：根據使用溫度
電熱烘箱的額定溫度：按照電熱烘箱的額定溫度，我們可以將電熱烘箱分為低溫電熱烘箱（100℃以下，用于電氣產品老化，普通料件的緩速干燥，部分原料、塑料等產品的干燥用），常溫電熱烘箱（100-250℃，用于大多數料件的水分干燥、涂層固化、加溫、加熱、保溫等），高溫電熱烘箱（250-500℃，高溫干燥特種材料、工件加溫安裝、材料高溫試驗、化工原料的反應處理等）。訂購-熱線：賈經理136-07-68-76-77-　，0371-6398-9979-
 
電熱烘箱的選擇：根據材質和性能
1.電熱烘箱工作室（內膽）：內膽的材質對于高溫環境的要求也是非常高的，一般情況分搪瓷鋼板，鍍鋁鋼板，鍍鋅鋼板，不銹鋼四種材質，我公司生產的電熱烘箱采用不銹鋼，在質量方面是最好的選擇。
2.加熱性能：市場上一般有電阻絲和電熱管，兩者各有千秋，注重節能的可以選購價格便宜的石英管，但是在使用和壽命方面不銹鋼優勢更大。溫控器一般采用較貴的數字式簡易操作，易控制。
附萬博部分電熱烘箱參數：
型號/數據
-0
-1
-2
-3
工作電壓（V）
220v 50Hz
220v 50Hz
220v 50Hz
220v 50Hz
功率（kw）
1.6
2.4
2.4
5
工作室尺寸（mm）
350×350×350
350×450×450
450×550×550
500×600×750
控溫范圍（℃）
室溫+10-250℃
室溫+10-250℃
室溫+10-250℃
室溫+10-250℃
溫度波動（℃）
±1
±1
±1
±1
注：以上是萬博電熱烘箱部分產品參數，更多真空、電熱烘箱烤箱請來電咨詢：

鄭州萬博專業為您提供電熱烘箱、干燥箱、電熱鼓風電熱烘箱、恒溫電熱烘箱、高溫電熱烘箱、烤箱等等，更多產品參數歡迎您來電咨詢詳細信息！！

CZY-NS1240蘇州諾達 烘箱對接小車

【產品概述】CZY-NS1240充電式百級層流車是風機以一定的風速將經過預過濾后的空氣壓入靜壓箱，再經高效過濾器后由阻尼層均壓，使潔凈氣流呈垂直單向流送入工作區，從而保證了工作區內達到工藝要求的潔凈度【技術參數】 凈化等級：百級材質：SUS304T1.2拉絲，四周PC板圍護，寬邊一側帶兩只手套，窄邊一側門可以上下移動外形尺寸：W1240*D850*H1750工作尺寸：W1100*D750*H 900  底板離地高155MM風速:0.36-0.54m/s斷電后電源持續工作：2小時潔凈度：ClassA六控制,壓差可顯示
  •  
產品特點應用領域                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                   
該公司產品分類： 手套檢漏儀 空氣過濾器 代理儀器 氣溶膠發生器 光度計 溫濕度記錄儀 過濾器 生物安全柜 粉塵發生器 光度計 氣溶膠發生器 手持式粒子計數器 大流量激光塵埃粒子計數器 觸摸式塵埃粒子計數器 大流量塵埃粒子計數器 塵埃粒子計數器 氣流流行測試產品 PBS-100[S] PBS-E PBS-100

高溫烘箱

蘇州晨光試驗設備有限公司 　 本公司是一家集科研.開發.生產環境試驗設備的專業公司！主要產品：鹽霧試驗箱.高低溫試驗箱.高低溫（交變）試驗箱.恒溫恒濕試驗箱.程控高溫試驗箱.快速溫度變化試驗箱.溫度沖擊試驗箱.高溫老化試驗箱.真空干燥試驗箱. 　 其它類：箱式淋雨試驗箱.擺管淋雨試驗箱.滴水淋雨試驗裝置.壓力蒸煮（儀）試驗箱.砂塵試驗箱.紫外光耐氣候試驗箱.等各種非標環境試驗設備和試驗室！！ 　 電話：0512-66361656 　 傳真：0512-66365363 　 聯系人：張廣浩 （0）13912636169 　 歡迎訪問本公司網站：http;www.chen-guang.com 

0-4藥用GMP型烘箱

藥用GMP型烘箱特點>  加熱熱源有蒸汽、電、電蒸汽兩用型三種方式。>  使用溫度：蒸汽加熱50-140℃，150℃；電加熱50-350℃；>  溫度實行自動控制，并且有記錄儀記錄；>  箱體內壁均滿焊，各過渡處均采用圓弧過渡，無。>  整機密封性好，獨特的導軌密封裝置，了整機的密封性；>  進風口配套空氣過濾器；排濕口配套中效空氣過濾器。>  雙開門烘箱雙門實現機械聯鎖；>  烘箱內各零部件均可快速拆卸、快速安裝，以方便清洗；>  控制系統備有文本顯示器、觸摸屏可供選擇；>  整機符合GMP要求。
hspace=0
 
安裝示意圖
GMP-I（蒸汽加熱型）hspace=0
技術參數
型號規格
每次干燥量
風機功率
耗用蒸汽
烘箱（輛）
烘箱（只）
寬＊深＊高
上下溫度
GMP-O
35
0.45
8
/
16
1130＊1100＊1750
±2
GMP-I
120
0.45
18
2
48
2300＊1200＊2000
±2
GMP-II
240
0.9
36
4
96
2300＊2200＊2000
±2
GMP-III
360
1.35
54
6
144
2430＊2200＊2200
±2
GMP-IV
480
1.8
72
8
192
4460＊2200＊22900
±2
 

烘箱點火器，烘爐點火器，烤箱點火器，烤爐點火器

 

肇慶光輝熱能專業銷售、批發－－－－-烘箱點火器,烘爐點火器，烤箱點火器，烤爐點火器
，廠價直銷，質量三包,量大更優。
                 
紅外線點火器:（保用一年）
1，   烘箱點火器，燃氣設備系統點火的最佳主要部件，優質安全，性能穩定,自動斷氣保護，自動點火。
2，   烘箱點火器，廣泛應用于涂裝前處理、烘干固化、食品烘烤、農產品烘干、室內外采暖、造紙、印染、等領域的工業設備的點火控制系統。（燃料為瓦斯、石油氣、天燃氣的點火設備）
3，   烘箱點火器，采用程式化集成IC控制; 兩個繼電器，保證了電路的自動控制、安全保護、以弱控強，轉換電路等作用; 優質的絕緣灌封膠封裝，更加保障了安全性能。
4，   燃氣設備系統中，烘箱點火器和性能、質量、安全的電磁閥是保證燃氣設備瓦斯燃燒的安全，最為重要而且是關鍵的環節。
5，   烘箱點火器輸出高壓是16KV,正常使用中熄火能自動再點火， 超時20秒仍點不著火時會自動關閉瓦斯電磁閥，切斷供給燃料系統并發出故障信號聲，從而達到安全。
烘箱點火器一般參數：
1、輸出電壓ac200v——240v，輸出高壓16kv以上。 2、外型尺寸：128mm* 73mm *42mm 3、安裝孔距118mm   孔徑φ5mm 紅外線燃燒器點火器接線說明如下： 
1、N：點火線　（接點火針）
2、S：信號感應線（接點火針）
3、綠：電源220＇V （點火器火線）　
4、藍：電源共用線　（零線）
5、橙：瓦斯電磁閥火線（零線是藍色共用線）　　
6、白：點火指示燈 （L1熄火）
7、紅：燃燒指示燈 （L2表示正常工作）
8、黃：警報器線
9、黑：接地線
該公司產品分類： 配件 涂裝設備

LFY-307汗漬色牢度烘箱

 

技術指標1、溫度控制范圍：室溫～99.9℃2、溫度控制精度：±2℃3、外形尺寸：390×420×570（mm）4、電源電壓：AC220V 50Hz
 
適用標準
GB/T3922-1995《紡織品耐汗漬色牢度試驗方法》
該公司產品分類： 色牢度類測試儀器 儀器配件 靜電類測試儀器 阻燃類測試儀器 織物類測試儀器 紗線類測試儀器

GT-TL-72精密烘箱|恒溫試驗設備|高溫恒溫試驗箱

高天試驗設備有限公司供應工業烤箱，烘箱，烤箱用途１３７９４９１６１７６主要用于工業生產中對產品的干燥、烘焙、熱處理等。

特點：

GTT系列精密烘箱測試空間共分8種標準規格，可滿足各種不同需要（另可根據生產或測試需要訂造非標尺寸）。特殊設計之強制循環送風系統，工作溫度分布均勻度。

采用壓縮玻璃棉，保溫效果易顯著。

另有其它工業烤箱，100級無塵烤箱等供選擇。

主要規格和技術參數型號 GT-TL-72

溫度范圍 室溫-200℃（300℃）

溫度穩定度 ±0. 5℃溫度分布均勻度 ±2℃升溫時間 200℃約需50min

內/外箱材質 SUS 304#不銹鋼外箱：鋼板烤漆A：內膽為鏡面不銹鋼保溫材質 壓縮玻璃棉保溫裝置 無熔絲開關，超溫保護開關，瓷質保險絲

配件 可調隔層板2-6件

消耗電力 3.0 3.0 4.2 5.1 6.0 7.0 8.0 9.0電源 3ф380VAC±10%或2ф220VAC±10%

溫度表 日本名廠“SHTIMADEN”PID配SSR輸出,風機延時斷電功能(可另購配程式控制)

時間計 999小時跳字顯示

保險裝置 次超溫報警,第二次超溫切電功能,MCCB過載保護,溫度自整定電熱 鰭片式散熱管形電熱管

運風系統 強制送風循環系統及特別設計出風口,溫度分布均勻度特佳

排氣煙道 葉片式設計可調出風量控制形成 溫度到達設定溫度后自動打開時間計,時間到達后切斷發熱電源,蜂鳴提示

測試標準 GB5170.2-1996

高天試驗設備有限公司專業生產并制造性環境試驗箱１３７９４９１６１７６：恒溫恒濕試驗箱，高低溫試驗箱，交變濕熱試驗箱，鹽霧腐蝕試驗箱，單臂跌落試驗機，線材彎折試驗機，多光源對色燈箱，鹽霧試驗箱，鹽霧機，溫度沖擊試驗箱，破裂強度試驗機，模擬運輸振動臺，電磁振動臺，工業烤箱，恒溫恒濕試驗機，恒溫恒濕箱，可程式恒溫恒濕機，老化試驗箱，濕熱試驗箱，高溫試驗箱等．

FDL-0431廠家直銷 瀝青旋轉薄膜烘箱（85型）FDL-0431

富蘭德   瀝青旋轉薄膜烘箱（85型）FDL-0431適用范圍    瀝青旋轉薄膜烘箱是按照國家標準GB/T5304，行業標準JTJ052-2000《公路工程瀝青及瀝青混合料試驗規程》中T0609-1993《瀝青薄膜加熱試驗》的要求設計生產的，適用于測定道路石油瀝青薄膜加熱后的質量損失，并根據需要，測定瀝青薄膜加熱后，瀝青殘留物的針入度、軟化點、脆點及延度等性質的變化，以評定瀝青的耐老化性能。   功能特點       1、瀝青旋轉薄膜烘箱采用一體化設計，操作維護簡單方便    2、瀝青旋轉薄膜烘箱采用PID溫控控溫體系，控溫精度高，穩定     3、瀝青旋轉薄膜烘箱采用精密傳統系統，轉速精確控制    4、瀝青旋轉薄膜烘箱可同時做4個樣，方便操作平行實驗      技術參數  1、工作電源：   AC　220V±10%，50Hz; 2、額定功率：   2.5kw;3、工作室溫度： 163℃±0.5℃；4、控溫精度：   ±0.5℃； 5、轉盤轉速：   5.5r/min±1r/min； 6、試樣數量：   4件； 7、工作室尺寸： 450×450×510mm3；8、環境溫度：   5-50℃；9、相對濕度：   ≤85％         美國Keith Brandon(簡稱K.B)技術創業投資基金是一家立足于美國，專注于投資中國高新科技技術項目的專業投資公司。在中國是以具有高速成長潛力的高新技術企業為主要的風險投資對象。通過投資為合作伙伴提供直接和務實的增值服務，將合作伙伴培育成為中國市場的領跑者。                長沙富蘭德實驗分析儀器有限公司是由美國K.B技術創業投資基金（風險投資商）資深合伙人Aid先生與中國分析儀器行業精英人才為主導成立的一家以研制、生產、銷售油品分析儀器的專業生產廠商。產品適用于石油、電力、化工、科研、質檢及大專院校等相關行業領域。                富蘭德自成立起就秉持著中西工業文明的“工匠精神”為思路，不斷雕琢自己的產品，不斷改善自己的工藝，緊貼市場需求，努力創造新的管理模式及新的產品來滿足客戶不斷增長的使用需求。              富蘭德為構筑企業長遠競爭力始終致力于新產品的自主研發，提高產品附加值，提升品牌美譽度作為企業生命力延續的保障。通過政府關于加強技術人才培養機制的平臺和美國KB技術創業投資基金的投資經驗，公司大力引入了一批行業綜合人才，加速了公司主營業務的提升，并努力正成為行業最具成長性企業。                富蘭德一直堅守與客戶單位事業聯盟發展的策略，積極整合企業優勢資源，追求卓越的產品品質，務實求新的態度為客戶的需求提供專業的售前、售中、售后服務。              “富蘭當為王者香；德于行”     富蘭德將以堅定的步伐，踐行對客戶的每一個承諾!
該公司產品分類： 其他分析儀器 防凍液，瀝青分析儀器 苯，石油，液化氣儀器 潤滑脂分析儀器 潤滑油分析儀器 燃料油，溶劑油分析儀器 通用及電力用油分析儀器

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