主要功能

1) 大放大倍率15萬倍

2) Top-View CCD 相機

- Navigation mode : 樣品原圖像抓取

- Click & Move (Auto)

3) Fully Motorzied Stage

- X,Y,R,Z,T - 5軸

- Recipe function : 分析位置儲存后再分析功能

4) B Type : SE (二次電子) + BSE (背散射電子)

High + Low Vacuum Mode

1

Table-SEM (臺式掃描電子顯微鏡)

- Model : SNE-4500M Plus (Type : B)

1) Resolution

2) Magnification

3) Accelerating Voltage

4) Detector

5) Electron Gun

6) Lens system

7) Detector type

9) Image Shift

11) Frame memory

12) Navigation Mode

13) Recipe Function

14) Automation Funtion

15) Image Format

16) Data Display

17) Vacuum System

18) Operation system

: 5nm (30kV, SE Image)

: 15x ~ 150,000x

: 1 to 30kV (1/5/10/15/20/30 - 6step)

: 二次電子圖像(SEI) - Secondary Electron Image

背散射電子圖像(BSEI) - Back Scattered Elecron Image

: 塢燈絲, 韋氏帽更換方式

: 偏壓系統 - 自動偏壓系統

: Two-stage Elecromagnetic : Condenser Lens

One-stage Elecromagnetic : Objective Lens

: E-T Detector (SE) / Solid state (4channel-BSE)

: 5-axis System (Fully Motorized Type)

- X, Y-axis : 40mm / R-axis : 360°, Z : 0~40mm / Tilt-axis : -45~90°

- Navigation 畫面及 SEM 軟件畫面 雙擊后 -> 移動

- Motor精密度 :≤ 3um

: X, Y Beam Shift (Max. 150?)

: 80mm(Diameter) / 40mm(Height), Max Height 50mm

: High Speed Mode (320*240) : 實時 Preview mode

2

19) Contorl system

: SEM Control PC (Desk)

- OS : Microsoft Window 7, CPU : Intel CoreTM

- Memory / HDD : 4GB

/ 500GB or High version

- Monitor(LCD) : 22inch

20) Software

: 長度, 面積, 角度, 文本等 Mearsurement

: 可以對圖像進行多種信息設置，可編輯視頻 及數據文本

: 設置初始值, 圖像測量模塊, Archives, Setting(EDS)

: 儲存的圖像在分析功能 -> 明暗&亮度保證 及 Mearsurement 測定功能

21) Demension

: Main Unit－－－－－－－－－－－－ 390(W)×380(D)×560(H)mm (88kg)

: Controller Unit－－-390(W)×325(D)×560(H)mm (37kg)

: Rotary Pump－－－－－－400(W)×160(D)×340(H)mm (24kg)